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造成碳化硅板開裂的原因有哪些？
2021-07-12 09:04:00
碳化硅板開裂的常見原因歸納如下：
1.碳化硅較厚時（如推板）會發(fā)生層裂，主要是壓制時的分層和燒結(jié)時的密不透風(fēng)造成的。2.使用碳化硅板時，往往在最初幾次或較長時間后出現(xiàn)開裂。
3.碳化硅板剛開始使用時，碳化硅顆粒表面與外界接觸最大，碳化硅氧化最多，體積膨脹最強(qiáng)。此外，碳化硅板中的碳化硅是由少量粘結(jié)劑結(jié)合而成。隨著使用次數(shù)的增加，碳化硅表面的氧化膜逐漸熔化在一起，硅板的強(qiáng)度逐漸增強(qiáng)，碳化硅就不再開裂了。
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